A vákuumszivattyú feladata a gázmolekulák eltávolítása a vákuumkamrából, csökkentve a vákuumkamrában lévő gáznyomást, és elérni a kívánt vákuumfokot. Számos iparágban alkalmazták:
A vákuum alkalmazásának fejlődésével a vákuumszivattyú típusok sokfélét fejlesztettek ki. Szivattyúzási sebessége másodpercenként néhány tized litertől másodpercenként több százezer vagy millió literig terjed.
A Slient olajmentes kompresszor gyakori működési zavarai